12インチマニュアルプローバー構成例(Model FD-30100)
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12インチマニュアルプローバー標準構成 (上) マニュアルプローバー : Model FD-30100 顕微鏡 : FS-70Z 防振台 : TAP-1010NH 12インチホットチャック : ECH-12 (下) ワークテーブル : WT-1200 温度コントローラ : WTC-10B 電源(AC200V) : GP0110-20 |
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自動シールドボックス(上開)仕様 両開きタイプシールドボックスへの搭載可能 |