標準マニュアルプローバー構成例(Model6100 Model8100)
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(左:写真) シールドボックス : ESB-700 マニュアルプローバー : Model 6100 顕微鏡 : SZ4045 防振台 : TAPC-56 6インチホットチャック : ECH-6 |
![]() マニュアルプローバー標準構成 →Model 6100 (6インチ) 外観図 →Model 8100 (8インチ) 外観図 |
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(左:写真) ワークテーブル : WT-700 温度コントローラ : WTC-10B 電源 : GP0110-10 |
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チップチャック(CK-CHIP)仕様 | |
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ミツトヨ社製1000倍高倍率顕微鏡及び デジタルカメラ取付け |
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テンプトロニクス社製サーモチャック取付け 低温時霜対策用シールドカバー取付け |
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BT / HF C-V 測定システム 測定実行画面 |