実装基板用マニュアルプローバー装置仕様|イーエスジェー・プローブテクノロジー・ジャパン株式会社

基板ホルダークランプ範囲基板取付範囲ステージトラベル範囲顕微鏡スキャン範囲顕微鏡退避トラベル Zステージ調整範囲本体寸法

：　最大 170mm ：　最大 170mm× 約300mm ： X ： ±25mm Y ： ±25mm ： X ： ±24mm Y ： ±24mm ：最大 80～90mm ：最大 15mm ：幅 = 440mm ：奥行= 500mm ：高さ = 300mm（顕微鏡を含まず）