12インチマニュアルプローバー (FD30100) 装置仕様
本体部
チャックステージサイズ ステージ移動 ステージトラベル サブステージトラベル デバイス保持 Zトラベル調整範囲  θ調整範囲 本体寸法   本体質量
: 12インチ または 320mm × 320mm (金属製ワークテーブル) :  エアベアリング及びマイクロヘッド送り機構 : X : 300mm  Y : 300mm :  X : 14mm    Y : 14mm :  真空吸着固定方式 :  30mm :  Zドライブハンドルトラベル 0/0.3/5 mm 3段 :  微動±5° :  幅   = 800mm :  奥行= 1000mm :  高さ = 400mm :  約75kg
スキャナー トラベル  本体寸法   本体重量 装備オプション
: 《粗動》 X : 300mm Y : 300mm (手動式) : 《微動》 X : 30mm Y : 30mm (手動送り) : 幅    =800mm : 奥行 =1000mm : 高さ  =300mm(顕微鏡微動スキャナ/アーム含) : 顕微鏡微動スキャナ : 顕微鏡アーム
顕微鏡 X-Y スキャナー 部

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