6インチウエハー対応タイプ : Model 6100
8インチウエハー対応タイプ : Model 8100
コンパクトでチップサイズから8インチウエハーまで対応可能な標準プローバーです
優れた操作性の、3段アクションレバーによりソフトコンタクトを実現
多種の顕微鏡や温度チャック（RT〜300℃）等各オプション搭載可能
シールドボックスへ搭載可能
サーモチャックなど特殊な仕様変更にも対応可能です
→ 装置仕様（8インチ）
→ システム構成例
12インチウエハー対応タイプ : Model FD30100
12インチウエハーまたは大型資料対応のマニュアルプローバーです
エアーシリンダーにより、スイッチONにてコンタクトします
各種顕微鏡や温度チャック等搭載可能です
→装置仕様
→システム構成例
BT-CV測定器 : Model C-V8100
マルチタイプのBT-CV測定専用装置です
1テストで、最大4枚同時測定可能なため、テスト時間の短縮に貢献します
測定器すべてを本体に内蔵しているため、非常にコンパクトです
測定ソフトは、自社製の専用プログラムです(WindowsOS)
実装基板対応タイプ : Model 6200
プリント基板上のデバイスを直接プロービングするためのマニュアル
プローバーです
プローブベースプレートと顕微鏡をZ軸上方向に押しボタンのみで退
避させるため、わずかなデバイスの位置ずれを防ぎ、高倍率顕微鏡を
使った時でも操作性が向上しております。
そのため、部品と配線の多い大型試作配線基板でもチャッキングする
事が可能となっております。
→装置仕様
→システム構成例
TDDB測定専用プローブステーション : Model TPS-8000
TDDB(The Dependent Dielectric Breakdown)評価システム用専用プロ
ーブステーション
ホットチャックを標準装備し、専用ボードを使用する事によりウエハ
ーに最大４８０ピン一括コンタクトする事が可能です。
操作性もウエハーアライメント操作以外は操作スイッチを一枚のパネ
ルに集中させ簡単な操作になっております。
また、安全にも十分配慮した設計になっており、誤操作によるカード
破損等がない様警告ランプで知らせるセーフティー機能が装備されて
おります。
→装置仕様
→システム構成例
TDDBプローブステーション(Model TPS-8000)専用ボード
ボードは基板のベースにセラミックを使用しており、耐久性にすぐれ、温度
変化による針ずれを最小限に押さえることが可能です。
また当社ではタングステン針とスプリング針の２種類を用意しております。
12インチウエハー対応タイプ ： Model SAP-12
Semi Automatic Prober Model SAP-12は、自動送り機構を装備し、ウエハ
ー状態で 集積回路・ダイオード・トランジスター・微少回路等の 電気的な諸
特性をより効果的に測定することができます。
研究開発部門から量産ラインまで各種ニーズに対応が可能です。
温度コントローラ・チップチャック 他
→プロービング オプション一覧(
673KB) →プローバーアクセサリー一覧(
130KB)
<写真> 高周波測定用オプション ： マニュピレーターModel305M
Ｘ軸、Y軸、Z軸、及び平行、アライメントの5軸調整可能
<写真> 電圧印加制御ボックス
チャック温度を監視して印加電圧を制御します
<写真> 特注システム製作（配光測定装置）
計測装置・制御装置を、お客様の用途に応 じて提案、設計、製作させていただきます
→製作仕様
