12インチマニュアルプローバー構成例(Model FD-30100)

  12インチマニュアルプローバー標準構成

(上)
マニュアルプローバー : Model FD-30100
顕微鏡        : FS-70Z
防振台        : TAP-1010NH
12インチホットチャック : ECH-12

(下)
ワークテーブル    : WT-1200
温度コントローラ   : WTC-10B
電源(AC200V)   : GP0110-20

  自動シールドボックス(上開)仕様
両開きタイプシールドボックスへの搭載可能
 

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