標準マニュアルプローバー構成例(Model6100 Model8100)

 

 (左:写真)
 シールドボックス    : ESB-700
 マニュアルプローバー : Model 6100
 顕微鏡        : SZ4045
 防振台        : TAPC-56
 6インチホットチャック : ECH-6
 

マニュアルプローバー標準構成

Model 6100 (6インチ) 外観図

Model 8100 (8インチ) 外観図

 

 (左:写真)
 ワークテーブル    : WT-700
 温度コントローラ   : WTC-10B
 電源         : GP0110-10
  チップチャック(CK-CHIP)仕様 
   ミツトヨ社製1000倍高倍率顕微鏡及び
デジタルカメラ取付け
  テンプトロニクス社製サーモチャック取付け
低温時霜対策用シールドカバー取付け  


 











BT / HF C-V 測定システム














測定実行画面

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