TDDBプローブステーション構成例(Model TPS-8000)

  TDDBプローブステーション標準構成

プローブステーション : TPS-8000
顕微鏡        : SZ4045
8インチホットチャック : ECH-8
温度コントローラ   : WTC-10B
電源         : GP0110-10

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