TDDBプローブステーション (Model TPS-8000) 装置仕様
本体部

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ステージ ステージ移動量 サブステージ移動量 チャック径 デバイス保持 ベースプレート移動量 θ調整
: エアーシリンダーにて移動 : Y : 200mm :  X : 25mm    Y : 25mm :  8inch :  バキューム :  Z :  30mm :  粗動 :  45°微動 :  10°